Sistema pecvd de zona dupla de controle deslizante de 1200 ℃

modelo

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-i

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-ii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iv

poder

3kw

3kw

4kw

4kw

tamanho do tubo do forno (mm)

diâmetro 60 (od) x1800mm

diâmetro 80 (od) x1800mm

diâmetro 100 (od) x1800mm

diâmetro 120 (od) x1800mm

dimensão

1800x410x610

1800x410x610

1800x460x660

1800x460x660

tensão de alimentação

220v

número da fase

Fase única

modo de controle

controle de temperatura yudian

30 seções só podem usar a regulação de temperatura pid.

controle de temperatura fp93 (do japão)

(substituir instrumentos importados, por uma taxa adicional)

O controle de temperatura do programa de 1,40 seção pode ser dividido em 4,2,1 programas em grupo, se o programa estiver dividido em quatro grupos, cada segmento de programa 10,

O controle pid de 2,6 grupos, temperatura baixa, média e alta pode cada um com um conjunto de pid, de modo que cada segmento seja capaz de controlar a temperatura seja muito preciso.

modo de controle de temperatura

pid inteligente

proteção e exibição contra burnout

sim

proteção contra temperatura excessiva

sim

proteção de sobrecorrente

sim

precisão de controle

+/- 1 ℃

desencadear

gatilho de mudança de fase

scr

106 / 16e alemanha simon kang

a temperatura máxima da zona de 1,2 temperatura

1200 ℃

a zona de temperatura 1,2

temperatura nominal

1150 ℃

taxa de aquecimento

≤30 ℃ / min (disponível mediante solicitação de modificação)

taxa de aquecimento recomendada

≤15 ℃ / min

tipo de termopar

tipo k

o comprimento de aquecimento da zona de 1,2 temperatura

205mm

temperatura da superfície circundante

≤45 ℃

potência de plasma rf

faixa de saída de potência

0-500w

potência máxima refletida

10w

frequência de sinal

13,56mhz ± 0,005%

ruído

& lt; 30 db

refrigeração a ar

método de refrigeração

potência de entrada

208-240v 50 / 60hz

parâmetros principais do sistema de fornecimento gx

faixa padrão

controlador de fluxo de prótons 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm

(você pode escolher qualquer escala)

precisão

± 1,5%

queda de pressão

& lt; 0,01mpa

repetibilidade

± 0,2% f.s

max

pressão de operação

3mp

sistema de escape vs-0.1

fonte de energia

220v / 380v 380w

taxa de bombeamento

2l / s

medidor de vácuo de resistência

zdr-i

faixa de medição de vácuo

0,1-10 5 pa

bomba de vácuo

vrd-8

tubo corrugado

kf25x1000mm

sistema de vácuo

10 -1pa