Forno de tubo a vácuo CVD de três zonas 1700 ℃
O forno usa haste de molibdênio de silício como elemento de aquecimento, adota estrutura de revestimento de camada dupla e sistema de controle de temperatura de programa de 31 seções, gatilho de mudança de fase e controle controlado de silício, e o forno adota fibra cerâmica de alumina, material de placa de luz de fibra formada a vácuo.
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