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Sistema pecvd de zona dupla de controle deslizante de 1200 ℃

item número.:
TOB-DSP-1200℃-PECVD
pedido (moq):
1set
Pagamento:
L/C,T/T,Western Union, Paypal
origem do produto:
China
porto de embarque:
XIAMEN
Tempo de espera:
7days

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Detalhes do produto

Sistema pecvd de zona dupla de controle deslizante de 1200 ℃

especificações

modelo	tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-i	tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-ii		tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-iii	tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-iv
poder	3kw	3kw		4kw	4kw
tamanho do tubo do forno (mm)	diâmetro 60 (od) x1800mm	diâmetro 80 (od) x1800mm		diâmetro 100 (od) x1800mm	diâmetro 120 (od) x1800mm
dimensão	1800x410x610	1800x410x610		1800x460x660	1800x460x660
tensão de alimentação	220v
número da fase	Fase única
modo de controle	controle de temperatura yudian 30 seções só podem usar a regulação de temperatura pid. controle de temperatura fp93 (do japão) (substituir instrumentos importados, por uma taxa adicional) O controle de temperatura do programa de 1,40 seção pode ser dividido em 4,2,1 programas em grupo, se o programa estiver dividido em quatro grupos, cada segmento de programa 10, O controle pid de 2,6 grupos, temperatura baixa, média e alta pode cada um com um conjunto de pid, de modo que cada segmento seja capaz de controlar a temperatura seja muito preciso.
modo de controle de temperatura	pid inteligente
proteção e exibição contra burnout	sim
proteção contra temperatura excessiva	sim
proteção de sobrecorrente	sim
precisão de controle	+/- 1 ℃
desencadear	gatilho de mudança de fase
scr	106 / 16e alemanha simon kang
a temperatura máxima da zona de 1,2 temperatura	1200 ℃
a zona de temperatura 1,2 temperatura nominal	1150 ℃
taxa de aquecimento	≤30 ℃ / min (disponível mediante solicitação de modificação)
taxa de aquecimento recomendada	≤15 ℃ / min
tipo de termopar	tipo k
o comprimento de aquecimento da zona de 1,2 temperatura	205mm
temperatura da superfície circundante	≤45 ℃
potência de plasma rf	faixa de saída de potência		0-500w
	potência máxima refletida		10w
	frequência de sinal		13,56mhz ± 0,005%
	ruído		& lt; 30 db
	refrigeração a ar		método de refrigeração
	potência de entrada		208-240v 50 / 60hz
parâmetros principais do sistema de fornecimento gx	faixa padrão		controlador de fluxo de prótons 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm (você pode escolher qualquer escala)
	precisão		± 1,5%
	queda de pressão		& lt; 0,01mpa
	repetibilidade		± 0,2% f.s
	max pressão de operação		3mp
sistema de escape vs-0.1	fonte de energia		220v / 380v 380w
	taxa de bombeamento		2l / s
	medidor de vácuo de resistência		zdr-i
	faixa de medição de vácuo		0,1-10 5 pa
	bomba de vácuo		vrd-8
	tubo corrugado		kf25x1000mm
	sistema de vácuo		10 -1pa

o email : tob.amy@tobmachine.com

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