Forno CVD de Leito Fluidizado

Forno CVD de Leito Fluidizado - TOB-1200-LTS-FB

Visão Geral do Produto e Aplicações Ideais

O TOB-1200-LTS-FB é um forno CVD de leito fluidizado construído para experimentos de deposição em superfície de pós. Um tubo de quartzo de alta pureza suporta uma placa de quartzo porosa em sua seção inferior; o pó fica apoiado sobre essa placa, o gás é injetado a partir do fundo do tubo e o fluxo ascendente através da placa suspende as partículas para que flutuem dentro da zona aquecida enquanto ocorre a deposição.

O forno atinge 1200 °C em menos de 1 hora e opera continuamente a 1150 °C, contando com uma zona de aquecimento de 200mm e uma zona de temperatura constante de 100mm. O tubo está disponível em diâmetros de Φ25mm ou Φ50mm com comprimento de 600mm, e a placa porosa é fabricada com o tamanho de poro exigido pelo seu pó. Uma carcaça de camada dupla com refrigeração a ar, um corpo de forno bipartido para troca de tubos, uma proteção para o tubo de quartzo e uma válvula mecânica de alívio de pressão são itens padrão.

Ideal para:

• Deposição CVD em pós que precisam ser suspensos individualmente em vez de compactados em um leito
• Experimentos de revestimento em que o gás deve passar uniformemente por toda a seção transversal do tubo
• Cargas de pó dimensionadas para tubos de Φ25mm ou Φ50mm com comprimento de 600mm
• Processos que necessitam de temperatura máxima de 1200 °C com controle de ±1 °C e uma biblioteca de receitas de 15 programas
• Não recomendado para:gases de processo corrosivos ou ácidos (danos causados por estes estão excluídos da garantia), ou pós cuja granulometria não possa ser fluidizada pela velocidade do gás disponível

Envie-nos o seu tipo de pó, tamanho de partícula e revestimento desejado, e confirmaremos o diâmetro do tubo e a especificação da placa porosa para o seu processo.

Onde o CVD de Leito Fluidizado se Encaixa na Pesquisa de Revestimento de Pós

Em um leito empacotado, as partículas entram em contato umas com as outras e o gás encontra caminhos de menor resistência, de modo que a espessura do revestimento varia de partícula para partícula. Um leito fluidizado elimina esse problema ao suspender as partículas em uma corrente gasosa ascendente, garantindo que cada partícula seja exposta ao precursor em toda a sua superfície. A sequência dentro deste forno é a seguinte:

1. O pó é carregado sobre a placa de quartzo porosa dentro do tubo de quartzo, e o tubo é fechado com o conjunto de flanges de aço inoxidável.
2. O gás de processo é introduzido na extremidade inferior do tubo e passa para cima através da placa porosa, que distribui o fluxo por toda a seção transversal do tubo.
3. Acima da velocidade de içamento, as partículas deixam a placa e formam um leito suspenso dentro da zona de aquecimento de 200mm, onde o precursor se decompõe sobre suas superfícies.
4. O pó revestido é recuperado após o resfriamento, abrindo-se o flange superior. A proteção do tubo e a válvula mecânica de alívio de pressão permanecem no lugar durante todo o ciclo.

Como o tamanho de poro da placa define tanto a queda de pressão quanto a uniformidade da distribuição de gás, ele é a única especificação que mais altera o resultado. Estão disponíveis tamanhos de poros de 4 a 550 μm, e a placa é fabricada sob encomenda.

Principais Características de Engenharia do TOB-1200-LTS-FB

• Projetado especificamente para deposição em pós:a placa de quartzo porosa e a entrada de gás inferior existem para que as partículas fiquem suspensas na zona aquecida, e não apenas colocadas nela.
• Carcaça de camada dupla com refrigeração a ar:a parede externa permanece mais fria do que a de um forno de parede única com a mesma temperatura de câmara.
• Corpo de forno bipartido e abri-ível:o corpo se abre para que o tubo de quartzo possa ser substituído sem desmontar o forno.
• Proteção do tubo de quartzo:uma blindagem ao redor do tubo evita ferimentos caso o quartzo quebre sob vácuo ou choque térmico.
• Válvula mecânica de segurança para alívio de pressão:protege contra sobrepressão caso a placa de filtro de quartzo porosa fique obstruída.
• Câmara de alumina com revestimento de alta temperatura:isolamento de fibra de alumina de alta pureza com revestimento de alumina de alta temperatura importado dos EUA na superfície da câmara, proporcionando maior eficiência de aquecimento e maior vida útil da câmara.
• Elementos de aquecimento em liga HRE:1200 °C alcançáveis em menos de 1 hora, 1150 °C contínuos, precisão de ±1 °C em termopar tipo K.
• Conjunto de vedação em aço inoxidável:conjunto de flange com anel de silicone duplo como padrão, com conjuntos de bombas opcionais de até 5 × 10⁻¹ Pa (mecânica) ou 5 × 10⁻³ Pa (turbo).

Especificações Completas

1. Corpo do Forno e Especificações Térmicas

2. Tubo de quartzo e placa porosa

3. Sistema de vácuo e vedação

4. Dimensões, Peso e Garantia

5. Consumíveis e Exclusões de Garantia

Sistema de Controlo

O controlador funciona num sistema operativo incorporado com um ecrã tátil a cores de 7 polegadas. Quatro funções importam para o trabalho repetível de CVD em pó:

As capturas de ecrã abaixo seguem a ordem das linhas acima: a biblioteca de curvas armazenadas, o editor de curvas, a interface comutável, a correção não linear, o início agendado e os dois alarmes de proteção.

O controlador armazena 15 curvas de temperatura, para que uma receita não precise de ser reintroduzida a cada execução.

Ecrã de definição da curva de temperatura.

O sistema operativo incorporado alterna entre chinês e inglês no ecrã tátil a cores de 7 polegadas.

Correção não linear da temperatura da amostra, utilizada para alinhar a temperatura apresentada com a temperatura medida da amostra.

Início agendado, uma função opcional, para execuções que devem começar a uma hora definida.

Alarme de sobretemperatura da Zona 1.

Sobretemperatura da Zona 1 com indicação de rutura do termopar.

Recomendações Práticas de Utilização

• Encomende a placa porosa juntamente com o pó, e não depois dele:o tamanho dos poros define tanto a queda de pressão através da placa quanto a uniformidade na distribuição do gás, determinando assim se o leito fluidizará com o fluxo que você consegue fornecer.
• Planeje o tempo de permanência abaixo da classificação contínua: 1200 °C é o pico alcançável, 1150 °C é a temperatura contínua. Retenções longas devem ser feitas a 1150 °C ou menos.
• Mantenha a rampa em 20 °C/min ou menos: essa é a taxa máxima de aquecimento para a qual o forno foi especificado, e também limita o choque térmico no tubo de quartzo.
• Nunca remova a proteção do tubo ou a válvula de alívio: a proteção contém o quartzo caso o tubo falhe, e a válvula de alívio mecânica se abre se a placa porosa entupir e a pressão subir.
• Verifique a compatibilidade do gás antes da execução: danos causados por gases corrosivos e ácidos estão excluídos da garantia, portanto, confirme se o gás do processo é aceitável antes do primeiro ciclo térmico.
• Mantenha os consumíveis em estoque:o elemento de aquecimento, o termopar e o cadinho de amostra são consumíveis e não estão incluídos, portanto, encomende peças sobressalentes junto com o forno, em vez de após uma falha.
• Use as 15 curvas armazenadas como sua biblioteca de receitas:uma curva por processo mantém a mesma execução de revestimento reprodutível entre operadores.

Perguntas frequentes de engenharia

P1. Qual tubo devo escolher, Φ25mm ou Φ50mm?

R. Ambos são oferecidos com um comprimento de 600mm. O tubo maior comporta mais pó por execução e proporciona uma velocidade de gás menor no mesmo fluxo volumétrico; o tubo menor atinge a velocidade de sustentação com menos gás. Escolha com base no volume de pó necessário por experimento e no fluxo de gás que você pode fornecer.

P2. Qual deve ser o tamanho dos poros da placa de quartzo porosa?

R. Tamanhos de poros de 4-550 μm estão disponíveis e a placa é feita sob encomenda. O tamanho dos poros deve ser pequeno o suficiente para reter o pó em repouso e aberto o suficiente para passar o gás de processo a uma queda de pressão viável, portanto, ele é especificado em conjunto com o pó, e não separadamente.

P3. Quão quente fica e quão rápido aquece?

R. 1200 °C é alcançável em menos de 1 hora. A temperatura contínua é 1150 °C, a precisão da temperatura é de ±1 °C em um termopar do tipo K e a taxa máxima de aquecimento é ≤20 °C/min.

P4. Que nível de vácuo pode ser alcançado?

A. Com um conjunto de bomba mecânica opcional, o sistema atinge 5 × 10⁻¹ Pa; com um conjunto de turbobomba opcional, atinge 5 × 10⁻³ Pa. O fornecimento padrão é o conjunto de flange de vedação em aço inoxidável com anéis de silicone duplos em O.

Q5. O que acontece se a placa porosa ficar bloqueada?

A. Uma válvula de alívio de pressão de segurança mecânica é instalada como parte do conjunto de vedação padrão, de modo que a pressão acumulada por uma placa de filtro de quartzo obstruída seja liberada em vez de contida. Uma proteção de tubo de quartzo também é padrão, para que uma falha no tubo não exponha o operador.

P6. Posso usar gases de processo ácidos ou corrosivos?

R. Danos causados por gases corrosivos e gases ácidos não são cobertos pela garantia; portanto, qualquer gás de processo ácido ou corrosivo deve ser avaliado conosco antes que o forno seja utilizado com ele.

P7. O que a garantia cobre e o que não está incluído?

R. Garantia de um ano com suporte técnico vitalício. Peças de consumo — o elemento de aquecimento, o termopar, o cadinho de amostra e itens semelhantes — não estão incluídas, e danos causados por gases corrosivos ou ácidos são excluídos.

P8. Quais são as dimensões ocupadas (footprint) e o peso?

R. 510mm × 430mm × 1000mm, com um peso líquido de cerca de 35KG. O forno fica na posição vertical, portanto o eixo do tubo é vertical e o gás entra por baixo.

Diga-nos o pó, o tamanho de partícula e o revestimento que você pretende alcançar. Retornaremos com o diâmetro do tubo, o tamanho de poro da placa porosa e o conjunto de bomba adequados para o processo.

tob.amy@tobmachine.com | +86 181 2071 5609

Revisado por: Pinery Gong, Bateria, Montagem e Processo de Rendimento ｜ Última atualização: 19-10-2026

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